山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


HVPE外延爐——立式

本設(shè)備主要用于氮化鎵(GaN)單晶生長;還可用于氧化鎵(Ga2O3)、氮化鋁(AIN)、 磷化銦(InP)、砷化鎵(GaAs)等外延生長。

坩堝下降長晶爐

本設(shè)備主要用于砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物晶體生長。設(shè)備由機架、安瓿支撐機構(gòu)、加熱器和控制系統(tǒng)組成,能夠?qū)崿F(xiàn)安瓿移動和轉(zhuǎn)動的精確控制。

導(dǎo)模法長晶爐

本設(shè)備主要用于氧化鎵(Ga2O3)單晶生長,將原料放在留有狹縫的模具中,熔液借虹吸作 用上升到模具頂部,受籽晶誘導(dǎo)結(jié)晶生長成單晶。

HVPE長晶爐——臥式

本設(shè)備主要用于氮化鎵(GaN)單晶生長;還可用于氧化鎵(Ga2O3)、氮化鋁(AIN)、 磷化銦(InP)、砷化鎵(GaAs)等外延生長。

HVPE長晶爐——立式

本設(shè)備主要用于氮化鎵(GaN)單晶生長;還可用于氧化鎵(Ga2O3)、氮化鋁(AIN)、 磷化銦(InP)、砷化鎵(GaAs)等外延生長。

SiC籽晶粘接設(shè)備

本設(shè)備是將SiC籽晶通過有機膠粘接在石墨上。提高籽晶粘接質(zhì)量是保證高 品質(zhì)SiC晶體生長的首要前提。

PVT法長晶爐——電阻爐

本設(shè)備主要用于碳化硅(SiC)、氮化鋁(AIN)單晶生長。

PVT法長晶爐——感應(yīng)爐

本設(shè)備主要用于碳化硅(SiC)、氮化鋁(AIN)單晶生長。

液相法長晶爐

液相法可以在更低的溫度(<2000℃)以下實現(xiàn)SiC單晶的生長,理論上更容易獲得高質(zhì)量的單晶。利用溫度梯度作為生長驅(qū)動力來實現(xiàn)晶體的生長。

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